エネルギー分散型蛍光X線分析装置による分析 マッピング

試験内容

エネルギー分散型蛍光X線分析装置(EDX)による、固体に含まれる元素の分布分析です。

主な測定試料

異物検出、分布分析、めっきはがれの分析、スクリーニング

キーワード

蛍光X線分析、EDX、非破壊

【分析元素】₁₂Mg～₉₂U

【分析領域】0.2×0.2mm、0.5×0.5mm、1.2×1.2mm、3.0×3.0mm

【最大試料サイズ】W250×D200×H150mm

【耐荷重】5kg

【段差】15mm以内

【X線管球】₄₅Rh

【X線照射方式】上面照射型

【雰囲気】大気

・液体は、分析できません。

・放射性物質を含む試料は、分析できません。

・大気中での測定のため、炭素(₆C)、酸素(₈O)などの軽元素は分析できません。

※詳しくは、担当者と相談してください。

試験イメージ（試料：電子基板）

・本機器は、平成26年度経済産業省補正予算事業「地域イノベーション協創プログラム補助金（地域オープンイノベーション促進事業）」により整備しました。

・機器利用をご希望の方は【機器利用：蛍光X線微小部分析計(EDX)】をご確認ください。

・電話 048-265-1369（材料技術・事業化支援室 材料技術担当）