平成26年度経済産業省補正予算事業整備機器（蛍光X線微小部分析計）

新たに「蛍光X線微小部分析計」を導入しました。

平成26年度経済産業省補正予算事業（＊）により、新たに「蛍光X線微小部分析計」を導入いたしました。

新設備の概要

蛍光X線微小部分析計

ご利用にあたっての詳しい情報は依頼試験料金表（エネルギー分散型蛍光X線分析装置による分析：定性分析）、依頼試験料金表（エネルギー分散型蛍光X線分析装置による分析：マッピング）、依頼試験料金表（膜厚測定：蛍光X線微小部分析計によるもの）及び機器開放料金表（蛍光X線微小部分析計）をご覧ください。

メーカー 型	(株)日立ハイテクサイエンス EA6000VX
装置概要	本装置は、材料に含まれる元素を非破壊で分析するものです。部品を分解しないで微小部の解析を行うことができます。樹脂、金属等に含有する微量な環境規制物質を短時間で測定できます。
仕様	【線源】小型空冷式X線管球(Rhターゲット) 【測定元素】原子番号Mg(12)～U(92) 【分析領域】0.2,0.5,1.2,3.0mm(自動切換) 【最大試料サイズ】250(W)×200(D)x150(H)mm 【その他】シースルーマッピング機能
活用事例	【活用事例】 めっき等に含まれる鉛等有害物質の分析 ICのリード等微小部に含有する微量な環境規制物質を測定 大型(最大 250mm×200mm)のクレーム試料をそのまま測定 【想定される不具合の事例】 樹脂材料の内部に含有した微小、微量の金属異物の検出 樹脂で被覆された材料の有害物質の検出 微小な電極のめっき不良　等
設置場所	埼玉県産業技術総合センター本所（川口市）
備考	地域オープンイノベーション促進事業導入機器