X線マイクロアナライザ(分析走査電子顕微鏡)(熊谷)

装置概要

観察試料に電子線を走査し、発生した二次電子、反射電子や特性X線を検出し、
表面観察や元素分析をする装置。

分析事例

• 異物、変色部等の元素分析
• 鉄鋼材料等の破断面解析
• めっき、皮膜等の膜厚確認   等

主な測定試料

• 電子部品、プリント基板、めっき部品、塗装部品等の金属加工部品
• 樹脂成型品全般

キーワード

走査型電子顕微鏡、SEM、EDS、EDX、エネルギー分散、 二次電子、反射電子、X線、電子線
元素分析、低真空観察、マッピング、破面解析、異物、変色、膜厚、腐食

2

有料の操作研修の受講が必要です。詳しくは表下「操作研修概要」をご覧ください。

• 撮影画像

• 分析結果(スペクトル波形)

• 分析結果(マッピング)

観察できないもの

• 放射性物質・アスベスト類・低融点物質・発火性物質・液体・ 揮発性物質・液体含有物
• 生物（前処理や低真空モードを使用することにより、観察可能な場合もあります。）
• 磁性体（消磁を行えば観察可能です。）

絶縁性材料の観察について

樹脂成型品等の絶縁性材料は金属コーティングもしくは低真空モードでの観察となります。
（北部研究所では金（Au）のコーティング装置をご利用頂けます。）

 全日コースの研修受講が必要です。
 研修費用：5,000円/1人
 制限事項：受講人数は1社2名以内とします。

 備考：研修は随時行っております。詳細は、下記担当までお問い合わせください。 
 問合せ先：048-521-9113(材料・機械技術担当(熊谷))